报告发布方：中金企信国际咨询

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一、行业概述

CVD碳化硅零部件是通过化学气相沉积（CVD）技术，在基板上沉积碳化硅（SiC）材料制成的关键部件。其具备高性能、高可靠性、耐高温、耐高压等特性，因独特的热、电及化学性质组合，成为半导体行业高性能材料的核心选择，广泛适配半导体制造中的各类精密设备。

二、行业产业链

CVD碳化硅零部件行业产业链呈清晰的三级结构。上游为原材料与设备供应端，原材料包括高纯硅粉、高纯碳粉等核心原料，设备涵盖纯化炉、CVD沉积炉、CNC加工设备等生产关键装备；中游是CVD碳化硅零部件的制造环节，涉及沉积、加工、检测等核心工艺；下游聚焦半导体设备领域，具体应用于刻蚀设备、MOCVD设备、Si外延设备、SiC外延设备及快速热处理设备等。

2024年中国大陆集成电路刻蚀设备市场规模达696.50亿元，同比增长36.14%。随着半导体制程向7nm及以下先进节点突破，刻蚀设备对高耐腐蚀、高导热材料需求激增。CVD碳化硅零部件因对含氯、含氟刻蚀气体低反应性及优异导电性能，成为设备中聚焦环、气体喷淋头的理想材料，推动产业链需求升级。

三、市场规模

全球及中国CVD碳化硅零部件市场均呈快速增长态势。在5G通信、人工智能、物联网等新兴技术驱动下，全球半导体行业对高性能零部件需求持续攀升。

中国作为全球最大半导体市场之一，行业虽处于追赶国际先进水平阶段，但增长势头强劲。2024年中国CVD碳化硅零部件行业市场规模达19.94亿元，同比增长17.42%，增速显著高于全球平均水平，反映出国内市场的旺盛需求与发展潜力。根据中金企信数据显示，2024年全球CVD碳化硅零部件市场规模大约为1038百万美元，预计2031年达到2011百万美元，2025-2031期间年复合增长率（CAGR）为10.1%。

数据整理：中金企信国际咨询

四、重点企业经营情况

当前全球CVD碳化硅零部件市场由TokaiCarbon、SglCarbon、ToyoTanso等国际巨头主导，但国内企业在国产替代进程中成果显著。2022年，志橙半导体以3.57%的全球市占率跻身全球前十，成为唯一进入该榜单的中国企业。

志橙半导体（2017年成立）专注半导体用碳化硅涂层石墨零部件研发，自主开发CVD碳化硅沉积炉，掌握多项核心技术。截至2023年6月，拥有41项国内授权专利（24项发明专利），产品获百余家半导体企业验证，2022年国内市占率14.51%，位列国内第三，同时推进实体碳化硅等新产品研发。

德智新材是国内最早采用CVD技术研发半导体用SiC材料的企业之一，2020年投入国内最大化学气相沉积设备，实现SiC涂层石墨基座产业化，其自主研发的SiC蚀刻环项目已率先实现国内量产交付，打破国外技术垄断。

五、行业发展趋势

1.技术突破加速国产替代

国内企业如志橙半导体、德智新材等已实现从技术突破到产品量产的跨越。未来企业将加大研发投入，优化产品性能以匹配先进制程需求，叠加政策对半导体国产化的支持，CVD碳化硅零部件国产替代进程将进一步提速。

2.需求增长拓宽应用场景

除半导体设备核心领域外，新能源汽车、光伏逆变器等领域的快速发展，为CVD碳化硅零部件开辟新应用空间。随着全球对高性能芯片需求攀升，行业市场规模有望持续扩大。

3.产业链协同完善产业生态

上游原材料纯度提升与设备精度优化，为中游制造提供更高质量保障；下游应用场景拓展反哺中游技术创新。产业链各环节协同发展，将推动CVD碳化硅零部件行业形成更完善的产业生态，提升整体竞争力。

第一章 全球与中国CVD碳化硅零部件市场发展现状及趋势分析

全球及中国CVD碳化硅零部件行业主要经济指标分析

全球及中国CVD碳化硅零部件市场价格走势分析

全球及中国CVD碳化硅零部件行业市场环境及影响分析（PEST）

全球与中国CVD碳化硅零部件市场发展现状及未来趋势分析

全球及中国CVD碳化硅零部件产能、产能利用率及发展趋势

第二章 全球及中国CVD碳化硅零部件市场运营指标分析

全球及中国CVD碳化硅零部件产量、产值市场增长率及发展趋势

全球及中国CVD碳化硅零部件供需现状及预测

全球及中国CVD碳化硅零部件消费量、消费额增速分析及预测

全球及中国CVD碳化硅零部件行业盈利指标分析

全球及中国CVD碳化硅零部件行业销售利润率指标分析

第三章 CVD碳化硅零部件行业上、下游产业链分析

CVD碳化硅零部件行业产业链

CVD碳化硅零部件行业主要上游产业发展分析

CVD碳化硅零部件行业主要下游产业发展分析（需求、份额、销售收入、应用趋势）

第四章 全球主要地区CVD碳化硅零部件市场现状及发展趋势（中国除外）

美国、日本、德国、韩国、其他

第五章 中国CVD碳化硅零部件进出口数据监测分析及预测

进口数量分析及预测

进口金额分析及预测

出口数量分析及预测

出口金额分析及预测

进出口平均单价分析

进出口国家及地区分析

第六章 全球及中国重点竞争企业分析

企业简介及产品介绍

企业经营业绩分析

企业市场份额占比分析

第七章 全球及中国CVD碳化硅零部件行业市场竞争策略分析

行业竞争力分析

企业市场竞争的优势

企业竞争能力提升途径

全球及中国CVD碳化硅零部件行业SWOT分析

企业竞争策略分析

企业核心竞争力的因素及提升途径

第八章 CVD碳化硅零部件行业投资现状分析

总体投资及结构

投资规模情况

投资增速情况

分地区投资分析

外商投资情况

第九章 CVD碳化硅零部件行业投资环境分析

经济发展环境分析

政策法规环境分析

技术发展环境分析

社会发展环境分析

第十章 CVD碳化硅零部件行业投资潜力及风险分析

行业投资效益分析

行业投资的建议

行业投资潜力分析

行业发展的主要因素

行业投资风险及控制策略分析

行业投资方向分析

行业投资价值评估分析

图表目录

图表1 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业主要经济指标 14

图表2 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业主要经济指标 15

图表3 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业平均价格 16

图表4 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业平均价格 17

图表8 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业市场规模 29

图表9 2025-2031年全球CVD碳化硅零部件市场规模预测 30

图表10 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业市场规模 31

图表11 2025-2031年中国CVD碳化硅零部件市场规模预测 32

图表12 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业产能统计及预测 34

图表13 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业产能利用率统计及预测 35

图表14 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业产能统计及预测 36

图表15 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业产能利用率统计及预测 38

图表16 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业产量统计及预测 40

图表17 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业产值统计及预测 41

图表18 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业产量统计及预测 42

图表19 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业产值统计及预测 44

图表20 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业供给量统计及预测 45

图表21 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业需求量统计及预测 46

图表22 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业供给量统计及预测 48

图表23 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业需求量统计及预测 49

图表24 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业供需平衡统计及预测 50

图表25 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业供需平衡统计及预测 51

图表26 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业消费量统计及预测 52

图表27 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业消费额统计及预测 54

图表28 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业消费量统计及预测 55

图表29 2019-2031年中国CVD碳化硅零部件行业消费额统计及预测 56

图表30 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业盈利能力 58

图表31 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业盈利能力 59

图表32 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业偿债能力 60

图表33 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业偿债能力 61

图表34 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业营运能力 61

图表35 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业营运能力 62

图表36 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业发展能力 63

图表37 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业发展能力 64

图表38 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业销售毛利率 65

图表39 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业销售毛利率 66

图表40 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业销售利润率 67

图表41 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业销售利润率 67

图表42 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业成本费用利润率 68

图表43 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业成本费用利润率 69

图表44 2019-2024年全球CVD碳化硅零部件行业总资产利润率 70

图表45 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业总资产利润率 71

图表52 2019-2031年美国CVD碳化硅零部件行业市场规模统计及预测 97

图表53 2019-2031年日本CVD碳化硅零部件行业市场规模统计及预测 99

图表54 2019-2031年德国CVD碳化硅零部件行业市场规模统计及预测 100

图表55 2019-2031年韩国CVD碳化硅零部件行业市场规模统计及预测 102

图表56 2019-2031年印度CVD碳化硅零部件行业市场规模统计及预测 103

图表57 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业进口量统计及预测 105

图表58 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业进口金额统计及预测 106

图表59 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业出口量统计及预测 108

图表60 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业出口金额统计及预测 109

图表61 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业进口平均价格统计及预测 110

图表62 2019-2031年全球CVD碳化硅零部件行业出口平均价格统计及预测 112

图表79 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业总体投资结构 151

图表80 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业投资规模 152

图表81 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业投资增速 153

图表83 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业外商投资情况 155

图表84 2019-2024年中国CVD碳化硅零部件行业利润总额 171

图表85 2025-2031年中国CVD碳化硅零部件市场规模预测 173

图表86 2025-2031年中国CVD碳化硅零部件行业利润总额预测 184

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