一、射频电源行业概况

射频电源（RFPowerSupply）是能够输出300kHz～300GHz正弦波电压的高频交流电源，是用来产生射频电功率的电源。核心作用是通过产生高频电磁场，将在低压或常压下的气体进行电离、从而形成等离子体。由于不同气体产生的等离子体具有不同的化学性能，从而在腔体内部实现不同的工艺需求。

二、射频电源行业产业链

射频电源行业产业链上游核心零部件包括半导体材料与器件、高端电子元器件等，其中半导体材料与器件包括碳化硅、氮化镓、MOSFET、LDMOS、晶体管等，射频功率器件包括磁性材料、高压电容器、电阻等。生产与测试设备包括光刻机、刻蚀机、频谱分析仪、网络分析仪等。产业链中游为射频电源的研发、制造与集成环节。产业链下游主要应用于半导体制造、光伏与显示面板、工业加热与焊接、科学研究和医疗等领域。

三、射频电源行业发展现状

1、射频电源行业供需现状

从国内市场来看，国内最先进的高端射频电源，主要性能指标已和国外同类电源差距不大。国外早于国内研制射频电源，在可靠性、体积、频率和功率稳定性上占优势。据统计，截至2024年我国射频电源行业产量为11237台，需求量为33486台。

数据整理：中金企信国际咨询

2、射频电源行业市场规模

2018年以来受国内集成电路、光伏等行业的高速增长，我国半导体设备需求高速增长，国产替代加速，半导体设备及其相关行业研发投入大幅增加，推动了行业规模高速增长，据统计，2024年我国射频电源行业市场规模为70.99亿元，市场均价约为21.2万元/台。

数据整理：中金企信国际咨询

四、射频电源行业竞争格局

全球射频电源市场主要由积累深厚的海外厂商主导，且格局较为集中。目前全球主要参与者包括MKS（美国）、AdvancedEnergy（美国）、Comet（瑞士）、DAIHEN（日本）、Trumpf（德国），尤其是两家美国厂商MKS和AE垄断明显，占据了主要的市场份额。国内射频电源基本依赖进口，主要研发单位主要包括北京北广科技、四川英杰电气、江苏神州半导体、深圳恒运昌等。随着半导体设备国产化的不断推进，国产零部件厂商逐步崭露头角，恒运昌、英杰电气、北广科技等射频电源企业在下游设备厂商的支持下逐步成长，在射频电源产品供应方面实现批量订单的突破。

中金企信国际咨询相关报告推荐（2025-2026）

《2026-2032年电气行业重点企业竞争战略及投资可行性研究预测报告》

《“一带一路”秘鲁锂电设备产业投资评估报告（2026版）》

《2026-2032年中国锂电池制浆上料系统行业运行趋势预测（市场供需形势及进出口分析）》

《2026-2032年中国新能源沼气发电行业全产业结构深度分析及投资风险研究报告-中金企信发布》

《2026-2032年风力发电设备市场竞争力分析及投资战略预测研发报告-中金企信发布》

1、企业填写“企业信息反馈表”确认订购意向;
2、由我方出示合同样本，双方确认合同条款即可签署达成合作；
3、双方按照合同条款约定订购方按合同约定金额汇入我方账户;
4、我方确认订购方款项到账后以邮件与快递形式将材料与国家认可正规发票提供订购方（注：相关细节合同条款中有具体体现）