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全球及中国热处理半导体设备市场竞争战略分析及投资建议可行性预测报告(2025版)-中金企信发布
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全球及中国热处理半导体设备市场竞争战略分析及投资建议可行性预测报告(2025版)-中金企信发布

一、热处理半导体设备行业概况

热处理半导体设备是半导体制造的关键工艺之一,用于在离子注入、薄膜沉积、金属化等工序后对材料进行晶格损伤修复、注入杂质激活和材料结晶改性等,从而调节其电性、物性等。热处理半导体设备主要的退火工艺类型包括管式炉退火、RTP快速退火、激光退火三大类。相较于传统工艺,激光热处理工艺具备空间选择性强、处理周期短、灵活性高等特征,可以精准选定工艺区域,高度契合半导体微缩化、三维化、复杂化的发展趋势,是当前半导体高端制程热处理的主流工艺路线之一,并具备向其他制造环节横向拓展的潜力。

二、热处理半导体设备行业产业链

1、产业链结构

热处理半导体设备行业产业链上游为核心部件、关键材料与软件/服务等,其中核心部件主要包括加热系统、气体输送系统、真空系统、控制系统与电源系统等;关键材料主要包括硅片、特种气体、化学品与靶材等。产业链中游为热处理设备制造与集成商。下游应用领域主要包括晶圆代工厂、垂直整合制造与封装测试厂等。

2、全球半导体行业资本性支出规模

近年来,半导体产业展现出显著的成长性,产业投资规模维持高位;加之半导体成为当前国际科技竞争的焦点之一,全球各主要国家/地区普遍采取了包括资金补贴在内的一系列举措以促进当地半导体产业发展,进一步推高了行业整体的投资规模。据统计,近几年全球半导体行业资本性支出已常年维持于1600亿美元水平。

2018-2024年全球半导体行业资本性支出规模

 

数据整理:中金企信国际咨询

三、热处理半导体设备行业发展现状

1、全球半导体设备各环节规模占比

近年来,激光热处理等前沿热处理工艺还在持续突破传统应用边界,如半导体材料诱导相变、辅助外延生长、表面处理、超晶格动态调制等,并进一步抬升热处理工艺及相关设备的产业价值并拉动未来产业发展。据统计,在半导体设备市场中,热处理设备价值规模占比已达到3%,整体与离子注入设备(3%)、清洗设备(4%)、CMP设备(4%)和涂胶显影(3%)相近。

2、中国大陆热处理半导体设备市场规模

热处理设备在当前先进半导体制造中承担关键作用,其产业意义已被全球主要经济体所认识,美国和日本均有针对性地将热处理设备纳入出口管制范畴。相关举措不仅提高了我国半导体制造产业获取热处理设备的难度,也在一定程度上对我国热处理设备研发与制造带来了信息与技术封锁,中国大陆热处理设备厂商必须基于独立创新路径研制新品。据统计,截至2024年我国大陆热处理半导体设备行业市场规模为14.87亿美元,同比增长26.14%。

 

数据整理:中金企信国际咨询

四、热处理半导体设备行业发展趋势

随着集成电路结构向立体化发展,激光热处理技术因其高效性和精确性而得到广泛关注。在后摩尔时代,集成电路缩小单层线宽尺寸的边际效益逐渐减弱,三维堆叠、异构集成成为更具成本效益的技术路径。传统热处理基于热扩散、热对流原理,向堆叠集成结构内部输送能量必然导致外围电路过度升温;相比之下,激光热处理技术不仅加热时间短,而且可以实现能量的定向非接触传输,以较低的热预算对器件特定结构进行高效处理,高度匹配集成电路结构立体化发展趋势,将对传统热处理工艺形成一定程度的替代。

半导体作为当前社会经济运行基石,其规模与资本性支出将随经济发展而增长,这将为激光热处理设备市场带来持续的规模化增长。随着集成电路先进制程的渗透率提升,新结构与新材料的持续引进则导致激光热处理工艺的应用占比增长,激光热处理技术应用边界持续突破,由此为激光热处理设备市场带来额外的结构化增长空间。

第一章 热处理半导体设备行业相关概述 14

1.1 热处理半导体设备行业发展情况 14

1.2 中国热处理半导体设备行业调研 15

1.2.1 热处理半导体设备在行业中的地位 15

1.2.2 热处理半导体设备应用分析 17

1.2.3 热处理半导体设备市场发展动态 19

1.3 关联产业发展分析 24

第二章 热处理半导体设备行业市场特点概述 25

2.1 行业市场概况 25

2.1.1 行业市场特点 25

2.1.2 行业市场化程度 26

2.1.3 行业利润水平及变动趋势 27

2.2 进入本行业的主要障碍 29

2.3 行业的周期性、区域性 30

第三章 2019-2024年全球及中国热处理半导体设备行业发展环境分析 31

3.1 热处理半导体设备行业政治法律环境 31

3.1.1 行业监管体制分析 31

3.1.2 行业主要法律法规 32

3.1.3 相关产业政策分析 35

3.2 热处理半导体设备行业经济环境分析 38

3.3 热处理半导体设备行业社会环境分析 42

3.4 热处理半导体设备行业技术发展趋势分析 44

第四章 全球及中国热处理半导体设备行业市场竞争状况分析 49

4.1 全球热处理半导体设备市场总体情况分析 49

4.1.1 全球热处理半导体设备行业市场规模及增长率分析(2019-2031年) 49

4.1.2 全球热处理半导体设备市场结构分析 50

4.1.3 全球热处理半导体设备行业市场供需格局分析(2019-2031年) 51

4.1.4 全球热处理半导体设备行业市场消费量及销售收入分析(2019-2031年) 53

4.1.5 全球热处理半导体设备行业产能、产量及发展趋势分析(2019-2031年) 55

4.1.6 全球主要国家热处理半导体设备产值及市场份额分析 56

4.2 中国热处理半导体设备市场总体情况分析 59

4.1.1 中国热处理半导体设备行业市场规模及增长率分析(2019-2031年) 59

4.1.2 中国热处理半导体设备市场结构分析 61

4.1.3 中国热处理半导体设备行业市场供需格局分析(2019-2031年) 62

4.1.4 中国热处理半导体设备行业市场消费量及销售收入分析(2019-2031年) 63

4.1.5 中国热处理半导体设备行业产能、产量及发展趋势分析(2019-2031年) 65

4.2.6 中国重点企业热处理半导体设备产值及市场份额分析 67

第五章 中国热处理半导体设备所属行业发展概述 68

5.1 中国热处理半导体设备行业发展状况分析 68

5.1.1 中国热处理半导体设备行业发展阶段 68

5.1.2 中国热处理半导体设备行业发展总体概况 69

5.1.3 中国热处理半导体设备行业发展特点分析 70

5.2 2019-2024热处理半导体设备行业发展现状 73

5.2.1 2019-2024年中国热处理半导体设备行业市场规模 73

5.2.2 2019-2024年中国热处理半导体设备行业发展分析 74

5.2.3 2019-2024年中国热处理半导体设备企业发展分析 75

5.3 2025-2031年中国热处理半导体设备行业面临的困境及对策 76

5.3.1 中国热处理半导体设备行业面临的困境及对策 76

5.3.2 中国热处理半导体设备企业发展困境及策略分析 78

第六章 全球主要国家热处理半导体设备市场规模增长率及发展趋势(2019-2031年) 80

6.1 全球热处理半导体设备市场发展趋势分析 80

6.1.1 全球热处理半导体设备市场规模及增长率分析(2019-2031年) 80

6.1.2 全球热处理半导体设备市场需求量及发展趋势预测(2019-2031年) 81

6.2 欧洲热处理半导体设备市场发展趋势分析 83

6.2.1 欧洲热处理半导体设备市场规模及增长率(2019-2031年) 83

6.2.2 欧洲热处理半导体设备市场需求量及发展趋势预测(2019-2031年) 85

6.3 中国热处理半导体设备市场发展趋势分析 86

6.3.1 中国热处理半导体设备市场规模及增长率(2019-2031年) 86

6.3.2 中国热处理半导体设备市场需求量及发展趋势预测(2019-2031年) 88

6.4 北美热处理半导体设备市场发展趋势分析 89

6.4.1 北美热处理半导体设备市场规模及增长率(2019-2031年) 89

6.4.2 北美热处理半导体设备市场需求量及发展趋势预测(2019-2031年) 91

6.5 日本热处理半导体设备市场发展趋势分析 92

6.5.1 日本热处理半导体设备市场规模及增长率(2019-2031年) 92

6.5.2 日本热处理半导体设备市场需求量及发展趋势预测(2019-2031年) 94

6.6 东南亚 95

6.7 韩国 98

6.8 印度 100

第七章 中国热处理半导体设备行业区域细分市场调研 104

7.1 行业总体区域结构特征及变化 104

7.1.1 行业区域集中度与特点分析 104

7.1.2 行业规模指标区域分布分析 105

7.1.3 行业效益指标区域分布分析 106

7.1.4 行业企业数的区域分布分析 107

7.2 热处理半导体设备区域市场分析 108

7.2.1 东北地区热处理半导体设备市场分析 108

7.2.2 华北地区热处理半导体设备市场分析 109

7.2.3 华东地区热处理半导体设备市场分析 110

7.2.4 华南地区热处理半导体设备市场分析 111

7.2.5 华中地区热处理半导体设备市场分析 112

7.2.6 西南地区热处理半导体设备市场分析 113

7.2.7 西北地区热处理半导体设备市场分析 114

7.3 2019-2024热处理半导体设备市场容量研究分析 115

7.3.1 2019-2024年中国热处理半导体设备市场容量分析 115

7.3.2 2019-2024年不同品牌热处理半导体设备市场占有率分析 116

7.3.3 2019-2024年不同地区热处理半导体设备市场容量分析 118

第八章 中国热处理半导体设备行业上、下游产业链分析 120

8.1 热处理半导体设备行业产业链概述 120

8.1.1 产业链定义 120

8.1.2 热处理半导体设备行业产业链 121

8.2 热处理半导体设备行业主要上游产业发展分析 122

8.2.1 上游产业发展现状 122

8.2.2 上游产业供给分析 125

8.2.3 上游供给价格分析 127

8.3 热处理半导体设备行业主要下游产业发展分析 128

8.3.1 下游产业发展现状 128

8.3.2 下游产业需求分析 131

8.3.3 下游最具前景产品/行业调研 134

第九章 中国热处理半导体设备行业市场竞争格局分析 136

9.1 中国热处理半导体设备行业历史竞争格局概况 136

9.1.1 热处理半导体设备行业集中度分析 136

9.1.2 热处理半导体设备行业竞争程度分析 137

9.2 中国热处理半导体设备行业竞争分析 138

9.2.1 中国热处理半导体设备产业集群分析 138

9.2.2 中外热处理半导体设备企业竞争力比较 139

9.2.3 热处理半导体设备行业品牌竞争分析 140

9.3 中国热处理半导体设备行业市场竞争格局分析 141

9.3.1 2019-2024年国内外热处理半导体设备竞争分析 141

9.3.2 2019-2024年品牌竞争情况分析 142

第十章 热处理半导体设备行业领先企业竞争力分析 144

10.1   144

1)企业简介(基础介绍,产能,产量,销售区域) 144

2)企业经营情况财务指标、销量、收入、价格及毛利率 144

3)企业市场占有率分析 145

10.2   149

1)企业简介(基础介绍,产能,产量,销售区域) 149

2)企业经营情况财务指标、销量、收入、价格及毛利率 149

3)企业市场占有率分析 150

10.3   152

1)企业简介(基础介绍,产能,产量,销售区域) 152

2)企业经营情况财务指标、销量、收入、价格及毛利率 152

3)企业市场占有率分析 154

10.4   155

1)企业简介(基础介绍,产能,产量,销售区域) 155

2)企业经营情况财务指标、销量、收入、价格及毛利率 163

3)企业市场占有率分析 165

10.5   170

1)企业简介(基础介绍,产能,产量,销售区域) 170

2)企业经营情况财务指标、销量、收入、价格及毛利率 171

3)企业市场占有率分析 173

10.6   176

1)企业简介(基础介绍,产能,产量,销售区域) 176

2)企业经营情况财务指标、销量、收入、价格及毛利率 178

3)企业市场占有率分析 181

第十一章 全球及中国热处理半导体设备重点企业产值、产量及市场份额分析(2019-2024年) 184

11.1 全球及中国热处理半导体设备重点企业SWOT分析 184

11.1.1 全球热处理半导体设备重点企业SWOT分析 184

11.1.2 中国热处理半导体设备重点企业SWOT分析 186

11.2 全球热处理半导体设备企业产值、产量及市场份额 188

11.2.1 全球热处理半导体设备企业产值列表及市场份额(2019-2024年) 188

11.2.2 全球热处理半导体设备企业产能、产量分析(2019-2024年) 189

11.3 中国热处理半导体设备企业产值、产量及市场份额 190

11.3.1 中国热处理半导体设备企业产值列表及市场份额(2019-2024年) 190

11.3.2 中国热处理半导体设备企业产能、产量分析(2019-2024年) 192

第十二章 十五五”期间热处理半导体设备行业投资前景展望 193


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